BAW/SAW滤波器的相位和组成

多晶薄膜的相对其性能至关重要。XRD是已经建立的技术，能够测量PZT和其他多晶薄膜。利用JVX7300L可以自动测定PZT薄膜的结晶度，并将其映射到衬底上，用于监测生长过程。

JVX7300L还具有可选的XRF通道，可以在同一工具上映射PZT的组成，提高生产率和良率。

JVX系列工具带有SECS-GEM和自动报告作为标准，支持关键过程信息的快速反馈。

多晶压电陶瓷薄膜，如钛酸铅锆(PZT)的性能是由其晶体相和微观结构决定的，这些关键参数可以通过x射线衍射(XRD)来获得。
XRD是一种非常强大的无损分析技术，用于多晶薄膜和粉末的相识别、定量和微观结构分析。

D8发现而且D8提前布鲁克实验室衍射解决方案，结合最高的粉末衍射性能和易用性。它们非常适合在研究、工艺开发和生产控制中对薄多晶薄膜进行表征。