轴上传输- kikuchi - beugung im REM

《传》，《传》，《传》2012^(1）und hat sich schnell zu einer etablierten Technik entwickelt, da ihre räumliche Auflösung mindestens eine Größenordnung besser ist als die der Standard-EBSD．beidieser Technik wid eine elektronen-transparente Probe horizontal oder leicht geneigt, d.h. senkrecht oder nahezu senkrecht zum Elektronenstrahl，定位器am Normalzumt und in standard - ebsd - detector witso定位器，dass er in Kikuchi-Pattern unterhalb der Probe erfast。

Bruker erkannte das Potenzial dieser Technik and begann eine Zusammenarbeit mit einem Forscherteam der Lorraine University in Metz, Frankreich, um die Einschränkungen im Zusammenhang mit der niht idealen probe - detekator - geometrie anzugehen。auser Zusammenarbeit entstand das Prinzip einer neuen探头-探测器-几何，模具“轴上TKD”^（2）bekannt ist und zur Einführung des擎天柱^TM跆拳道Detektorkopfes fuhrte。Dieser neue Detektorkopf verfügt über einen horizontalen phospschirm, der direct at electrotronentransparenten Probe positionert werden kann, wobei die optische Achse des REMs das Zentrum des phospschirms schneidet, den Ursprung des Namens“On-Axis”TKD erklärt。Diese Konfiguration hat den Vorteil, Kikuchi-Patterns mit der stärksten Signalausbeute und den geringsten gnomonischen Projektionsverzerrungen zu zeigen^（3）．

Seit seiner Einführung im Jahr 2015 ist擎天柱^™跆拳道die einzige kommerzielle Lösung, die On-Axis TKD im REM ermöglicht und die sich aufgrund ihrer Fähigkeiten als führende TKD-Lösung etabliert hat。

Unubertroffene Leistung

Niedriger Strahlstrom -擎天柱^™TKD ermöglicht Orientierungs-Maps und Phasenzuordnung mit einer räumlichen Auflösung im Nanometerbereich mit Hunderten von Punkten pro Sekunde bei nicht mehr als 2 nA Strahlstrom und mit hervorragender Datenintegrität oder Indizierungsqualität。

Räumliche Auflösung - Mit einer räumlichen Auflösung von mindestens 2 nm (bei Verwendung eines hochleistungs - feldemissions - rem) zeigt OPTIMUS^™TKD Details, die kleiner als 10nm oder sogar kleiner als 5nm sind (siehe Anwendungsbeispiele unten)。

Der擎天柱^™TKD-Detektorkopf kann bei allen BrukereFlashEBSD-设备检测标准-设备检测标准-设备检测标准-设备检测标准-设备检测标准-设备检测标准Je nach Anforderung an die Messung, zum Beispiel die räumliche Auflösung, können geübte Nutzer在10 - 15分钟zwischen TKD- und EBSD-Analyse wechseln。擎天柱^™TKD funktioniert perfekt in Kombination mit dem patentierten TKD- probenhalter (EP 2824448 A1)。

嗯，我的天堂，我的天堂，我的天堂^™TKD mit einem integrertenARGUS™Bildgebungssystem entwickelt。Die hohe Qualität und hohe Empfindlichkeit der Festkörperdetektoren geben dem Nutzer Die Möglichkeit, brillante Hellfeld und Dunkelfeld-ähnliche Bilder mit einer Auflösung im纳米bereich bei Geschwindigkeiten von bis zu 125k Punkten/Sek。aufzunehmen。Diese Bilder liefern nur quality information, aber sie zeigen wichtigeMikrostrukturdetails wie Orientierungs- und Phasenkontrast, Versetzungen and Stapelfehler oder in bestimmten Fällen sogar Restspannungen。

我的朋友geschätzten QUANTAXEDS/EBSDsystem ist die Kombination and Integration dieser beiden Techniken, die auch für elektronentransparente Proben verfügbar ist und durch die Kombination des
eFlash FSEBSD检测器XFlash^®FlatQUADEDS探测器besonders leistungsstark wild。北德检测机构unübertroffene Daten-qualität, räumliche Auflösungund Durchsatz und arbeiten perfect zusammen mitpatentierten TKD-Probenhalter under neu entwickelten Röntgenmaske。

• Räumliche Auflösung für Orientierungs-Maps: 2 nm order besser
• Räumliche Auflösung für Hellfeld und Dunkelfeld-ähnliche Bilder: 1.5 nm订购贝塞尔
• Kleinste aufgelöste地图中的详细信息:4 nm kleine Rekristallisationszwillinge in Au
• Messgeschwindigkeit: bis zu 630 fps(帧/Sekunde)
• EHT-Bereich: 5-30 kV
• Strahlstrom: mindestens 95% der Analysen benötigen nicht mehr als 2 nA

(1）在扫描电子显微镜中从10纳米畴透射EBSD， R. Keller和R. Geiss，显微镜杂志，Vol. 245, Pt 3 2012, pp. 245 - 251

（2）轴向检测器透射扫描电镜定向映射， J.-J Fundenberger等。，中国生物医学工程学报，2016,27 (3):344 - 344

（3）系统地比较了上轴透射和离轴透射菊池衍射， F. Niessen等，超显微技术，186,158-170,2018