粗糙形貌材料的能谱定量分析雷竞技网页版

对于可靠的EDS定量，样品和探测器几何形状的准确知识是必不可少的。然而，对于具有粗糙形貌的材雷竞技网页版料，很难知道光谱获取点的局部样品几何形状。提高定量的一种方法是通过样品旋转获取多个光谱。这将模糊样品地形对定量的影响，使结果更接近化学计量浓度。

图1为具有粗糙形貌和认证浓度值(元素a = 33.4%， B = 41.3%， C = 25.3%)的三元合金的SE图像。为了评估材料成分，在样品表面获得了五个点光谱(图1a)。将样品旋转180°，在几乎与之前相同的位置额外获得了5个点光谱(图1b)。经平均光谱分析，材料的组成为:元素A = 33.5%，元素B = 40.8%，元素C = 25.7%，与鉴定浓度非常接近。一个方便的方法来测量粗糙表面是使用布鲁克独特的EDSXFlash^®FlatQUAD探测器。