硅核-c壳硅纳米颗粒的超高分辨率元素映射

基于sem的束流敏感样品(如硅纳米颗粒)的EDS分析需要非常低的束流电流和/或非常短的测量时间。当要求较高的空间分辨率时，有必要使用低电压来减小电子-样品相互作用体积。对于传统的EDS测量，这种分析条件具有挑战性，因为诱导x射线产率非常低，因此需要非常长的测量时间。结果是波束诱导的样品漂移影响了空间分辨率。

EDS测量XFlash^®FlatQUAD克服这些限制。独特的几何形状XFlash^®FlatQUAD为低x射线产率材料提供高检测灵敏度，在低探针电流下提供高计数率。雷竞技网页版因此,XFlash^®FlatQUAD探测器是理想的映射光束敏感材料，甚至与地形。雷竞技网页版

这个例子展示了硅纳米颗粒的高分辨率地图(像素间距为2纳米!)映射是用XFlash^®FlatQUAD在5kv, 520 pA和377 s采集时间。结果表明，目前的纳米颗粒具有硅核(绿色)和碳壳(红色)的特征。(数据由S.Rades等人提供，英国皇家化学学会，2014,4,49577)