Schichtdickenanalyse麻省理工学院mikro-RFA快速眼动
Da Rontgenstrahlen Probenmaterie besser durchdringen萤石,是死Mikro——Rontgenfluoreszenz一张ideale ortaufgeloste analytische Technik苏珥Bestimmung冯Schichtsystemen。麻省理工学院 derMikro-XRF REM汪汪汪拉森西奇somit Schichtsysteme(迪克和Zusammensetzung)麻省理工学院raumlicher Auflosung im Mikrometer德国施耐尔和einfach analysieren。Typische Anwendungen信德metallische Beschichtungen晶体,汪汪汪Multielement-Beschichtungen Solarzellen。死Schichtdickenquantifizierung basiert auf民主党(standardfreien)拟设der Verwendung atomarer Fundamentalparameter (FP)。死Genauigkeit der Quantifizierungsergebnisse lasst西奇的军队死Verwendung冯标准还有魏特verbessern。军队窝standardfreien拟设eignet西奇死Schichtdickenanalyse是REM insbesondere毛皮neuartige Schichtsysteme der大幅减退& Entwicklung。
Abb。1: Beispiel der Schichtstruktur静脉Solarzelle。在窝meisten下降将der吸收来自CIGS-Strukturen hergestellt,死来自Cu-In-Ga-Se奥得河Cu-In-Ga-S Verbindungen bestehen。CIGS-Solarzellen了在der Regel军队Abscheidung auf格拉斯-奥得河Metallsubstraten hergestellt,死麻省理工学院静脉Mo-Schicht kontaktiert信德。Im Vergleich苏珥herkommlichen Schichtdickenanalyse REM,贝der层Im Querschnitt bestimmt了,可以在这张麻省民主党XTrace direkt auf der Oberflache欧什ohne aufwandige Probenvorbereitung施耐尔和einfach bestimmt了。
Abb。2: Mikro-XRF-Spektrum der Solarzelle,死阿莱relevanten Elementlinien来自窝verschiedenen层请。欧什死hochenergetischen Linienserien der schweren Elemente (z.B Mo-K和k)可以在麻省理工学院帮助der mikro-RFA•莱克特说angeregt了。死großere Informationstiefe der Rontgenanregung ermoglicht杯tieferen耀光das材料和somit死Charakterisierung relativ dicker层、mehrschichtiger Systeme ab 1 40 nm和bis祖茂堂µm Gesamtschichtdicke。Daruber hinaus萤石欧什死Zusammensetzung der CIGS-Struktur bestimmt了。这本Beispiel,麻省理工学院einem standardlosen Fundamentalparameter (FP) basierten拟设analysiert。标准能帮der软件verwendet了,嗯死Prazision der Ergebnisse祖茂堂erhohen。
