halbleiter - microchip的元素识别

Das elektrisch leitfähige Keramikmaterial Wolframsilizid bird in Mikroelektronik-Produkten wie Mikrochips verwendet。Wolframsilizid kann auch als refraktäre Halbleitermaterialien wie Si-Wafern auftreten相。

嗯贝德Qualitätskontrolle eine hohe räumliche Auflösung auf der微米和纳米- ebene zu erreichen, müssen die röntgenspektroskopischen Analysen bei niedrigen Beschleunigungsspannungen durchgeführt werden，是die Identifizierung dieser Phasen erschwert。Nur die Röntgenlinien der Wolfram-M-Serie, die stark mit der silica - k - linie des Substrats überlappen, werden bei niedrigen Beschleunigungsspannungen angeregt。

Die resultierenden EDS-Peaks der Primärelemente werden leicht verbreitert und verschleiern das Vorhandensein der zweiten Phase。我是Gegensatz dazu werden Elemente wie W mit themQUANTAX改进算法aufgrund塞纳überlegenen Spektralauflösung zuverlässig identifiziert。