映射冯Schichtdickenvariationen
死探针,请来两Elektroden auf einem Glassubstrat,是静脉Prufkorper毛皮死photoinduzierte Elektrolyse。您besteht来自静脉Bimetall-Monolage麻省理工学院einem Konzentrationsgradienten entlang Oberflache。Das Glassubstrat将军队Magnetron-Sputtern进行kombinierten Cu-Al-Targets beschichtet。
Da Rontgenstrahlen Materie durchdringen能帮,ermoglicht死RFA(光谱仪)im Allgemeinen Bestimmung冯Schichtdicken死去。Micro-XRFermoglicht死Schichtanalyse(迪克和Zusammensetzung)麻省理工学院raumlicher Auflosung Mikrometerbereich化生。死Schichtanalyse basiert鲜明auf der elementaren Fundamentalparameter-Quantifizierung和萤石的军队死Verwendung冯Standardproben verbessert了。所以您能“gangige”Schichtsysteme包括ENEPIG-Schichten ZnNi-Schichten奥得河Lotschichten,对战•莱克特说verfugbare标准麻省理工学院(hoh Genauigkeit gemessen了,但欧什neuartige Schichtsysteme在静脉F&E-Umgebung能帮getestet了。
对整个Probenflache·冯·5 x 5厘米²,麻省理工学院静脉raumlichen Auflosung冯50µm贝50毫秒Messzeit pro像素gemappt。死Elementverteilung der Schichtelemente铝和铜zeigt deutlich窝Konzentrationsgradienten。
死Map-Daten wurden Bezug auf死迪克·冯·铜:艾尔auf Si麻省理工学院einem 5-fachen Pixel-Binning quantifiziert (woraus sich一张Auflosung冯250µm毛皮死Schichtdickenanalyse ergibt)。毛皮solche neuartigen Probensysteme有es keine Referenzen,大刀beruht死Fundamentalparametern Quantifizierung再见。死Ergebnisse是的肠道麻省理工学院窝Erwartungen des Herstellers uberein。