CryoSAS

CryoSAS vereint die Leistungsfähigkeit von Bruker FT-IR-Spektrometern mit integrerter“封闭循环”技术k, die das Abkühlen der Proben und des detector ohne flüssiges氦ermöglicht。阿莱CryoSAS-Komponenten信德auf民主党neuesten站der Technik和basieren auf bewahrten Technologien,死一张anspruchsvolle德国im Umfeld der Siliziumproduktion ermoglichen。CryoSAS verfügt über ein hohes Maß an Automation einschließlich der automatischen Erstellung des Analysereports。

Herausragende Merkmale:

Hohe Empfindlichkeit:

CryoSAS分析仪flache Störstellen (z. B. Bor，荧光粉等)nach ASTM/SEMI MF1630 bis hinab in den niedrigen ppta-Bereich。Simultan zur analysis der flachen Störstellen können unter Anwendung des ASTM/SEMI MF1391-Standards Kohlenstoff and Sauerstoff bis in den niedrigen ppba Bereich analysiert werden。

Geschlossene kryogene Kälteanlage: keine teuren flüssigen kryogene erforderlich

Hochzuverlässiges Closed-Cycle-Kryokühlsystem für探测器和Probenkammerkühlung。Im Vergleich zu einer flüssigen Helium-gekühlten Kälteanlage kann das geschlossene Kreislaufsystem 50.000€Betriebskosten pro Jahr und noch mehr einsparen。

proenraum aus rostfreiem Edelstahl: komfortabler proenzugriff

Bewährtes Probenkopf - design mit stationärer Optik und automatisiertem Probenkopf。Der groe inendurchmesser des Probenraums erlaubt einen einfachen Zugriff auf den Probenhalter。

Ölfreie涡泵:德国真空技术公司

Schnelles und zuverlässiges Abpumpen via Vor- und涡轮泵。

Robuster, präziser automatischer Linearantrieb mit neunfach Probenhalter:

关于线性的研究和讨论的问题。机械装置的机械装置ermöglichen eine präzise机械装置的机械装置zuverlässige功能über Jahre hinweg。Der Probenhalter lässt sich komfortabel bestücken und das Einsetzen in den Probenraum geht innerhalb weniger Sekunden vonstatten。Weiterhin stellt as设计的问题，ausgoldbeschichtetem的hc - kupfer eine gleichmäßige温度的问题。

Einfachste Bedienung:

CryoSAS ist optimiert für den Einsatz im industriellen Umfeld。真空和温度联用设备，werden von einer SPS设备。Der Abkühlvorgang und die Messung können durch einen simplen Knopfdruck auf dem触摸屏gestartetwerden。在Spektroskopie- noch在真空的Tieftemperaturexperte sein Der andender muss weder。

Die CryoSAS-Software ist intuitiv bedienbar und wurde speziell dafür entwickelt, Die Anforderungen in der industriellen Qualitätskontrolle zu erfüllen。Der Anwender muss lediglich die gewünschte Analysemethode auswählen, die Probeninformationen eingeben und den开始按钮drücken。daraufin kühlt CryoSAS die proproen automatisch ab, startdie Infrarotmessung, wertet die Ergebnisse aus und erstellt einen Analysereport。

Spezifikationen

Spektralbereich: 1500 - 280厘米^－1optimiert für die Messung von

• 3. flachen Störstellen der和5。Hauptgruppe在ekristallinem Silizium gemäß ASTM/SEMI MF1630。Für gekeilte Proben mit einer Dicke von ca. 3 mm信子folgenden Nachweisgrenzen erreichbar:
  - 10ppta荧光粉
  - 30ppta Bor
• substitutionellem Kohlenstoffgemäß ASTM/SEMI MF1391。Diese Methode erfordert eine FZ-Referenzprobe mit vernachlässigbarem Kohlenstoffgehalt, deren Dicke und Oberflächenbeschaffenheit möglichst ähnlich zur untersuchten Probe sein sollte。Für gekeilte Proben mit einer Dicke von ca. 3 mm ist eine Nachweisgrenze von 20 ppba erreichbar。