Dimension FastScan Pro提供当今任何工业AFM中最高的计量级速度和性能。该系统支持自动化或半自动测量,同时确保最大程度的易用性和最低的每次测量成本,以进行质量控制、质量保证和故障分析。
FastScan Pro利用开放访问平台,大型或多个样品支架,以及众多易于使用的功能,为工业QA, QC和FA应用提供灵活的高性能纳米级计量。该系统可为半晶圆、数据存储和HB-LED提供2英寸至12英寸的自动晶圆测量。它的特点是增加了XY样品行程,可以完全访问200毫米晶圆或200毫米直径区域的多个样品,可选卡盘用于300毫米晶圆。该系统还提供高通量5-10倍FastScan扫描仪,用于地形,粗糙度和其他计量分析,或具有90 μ m扫描范围的Icon扫描仪,用于更大的扫描和高精度地形性能。
AutoMET™全配方软件提供快速,自动化计量,简单的操作和AFM适应性,轻松捕获生产中所需的关键质量测量。该软件允许对多个样品或单个大样品进行自动化测量,以便在多个位置进行纳米级表征。它还提供光学和AFM图像模式识别,尖端定心,全晶圆或网格映射支持,以及几十纳米内的图像放置精度。全面而简单的配方编写为高级用户提供了实时和离线使用。
独特的技术可以精确地对样品上的任何原子施加力。这种精确的探针到样品控制允许最广泛的样品类型,从软聚合物,薄膜和电样品到硬材料。雷竞技网页版它还提供了最低的可用成像力和较长的探头尖端寿命超过数百接合和数据扫描。
具有更高的速度,更低的噪音,更大的AFM模式灵活性,NanoScope 6控制器允许用户利用我们的高性能尺寸和多模式AFM系统的全部潜力。这个最新一代的控制器提供了前所未有的精度,精度和多功能性的纳米级表面测量在每一个应用。
NanoScope 6独特地使布鲁克原子力显微镜能够: