CIPT方法

Current-In-Plane隧道(CIPT)法是一种测量隧道结的性质通过将一组探测器在整片/大样本没有传统技术的隧道结结构。这大大加速开发和测试。此外,这些非侵入式测量本质上是当地由于非常小(微米级)探针间距,可用于均匀性控制以及特征参数不同的晶片大小的样本。

在CIPT测量,测量样品的阻力(表)使用四点探针方法。电流通过一个示例发送两个探针(我+ -),和其他两个探针之间的感应电压降(V +和-)可以计算出样品的电阻。在下面的图中(a)代表样本的顶视图,而(b)代表一个样本的横截面。

如果样品是隧道结,当前的一部分将流经电极顶部,而另一部分将穿透屏障,流经电极底部。当前隧道穿过势垒的数量可以改变通过改变探针之间的距离,如下图所示。

当探针放置非常接近当前不会有时间的隧道,将主要流经电极顶部。当探测是非常广泛的,目前将顶部和底部电极之间分配比例。因此,隧道结会更高的电阻探针间距小,和下降到一个较低的值在较大间距示意图上图所示。通过测量不同探针间距的隧道结电阻(通过选择不同的电极CIPT探针),沿着这样的曲线数据点的数量。数据拟合收益率隧道结的属性特征。

在上图中y轴代表薄层电阻,而使用的轴表示探针之间的距离的测量。从这个图可以估计下面的重要参数。

R (T) =上电极的电阻

R (B) =底部电极的电阻

RA产品=指示隧道结电阻

λ=特征长度

咯=顶部和底部之间的相对变化电阻电极