fp-III
第三代飞脉冲激光修复系统
45nm生产光掩膜修复
突出了
高速、精密的掩模修复能力
的fp-III®飞频脉冲激光系统是布鲁克非常成功的光掩膜修复工具家族的最新成员。凭借其非凡的高速和精密掩模修复能力，fp-III是当今最具成本效益的解决方案，可取代过时，旧，速度较慢且功能较差的现有激光和FIB掩模修复系统。fp-III专为批量生产掩膜修复而设计，可修复至45nm技术节点，包括大面积和小面积图像重建以及通过薄膜修复。
广泛
激光烧蚀及颗粒可去除材料雷竞技网页版
包括铬，MoSi，不透明MoSi, SiN，石英，EUV，外来材料和持久性未知颗粒雷竞技网页版
精确的
边缘位置
所有材料≤20nm(±距离靶)雷竞技网页版
非凡的精度控制允许修理特别匹配指定的参考或差异偏向线边缘
迭代修复
能力
用飞脉冲激光
确保无吸收剂或石英损坏，无热损坏，无飞溅或卷起
所有的面具
类型
45nm节点修复
具有从EUV掩膜中去除未知粒子的能力
Eigenschaften
最终控制口罩修复变得容易
我们的Fempto-Pulse激光修复过程完全由形状、功率和脉冲数量控制;独立于材料组成，材料界面或被移除的几何形状。
此外，集成的本地模式复制功能是系统的标准配置，便于设置和获得可重复的结果。
为最佳性能而设计
fp-III标配反射和透射成像，以提供最佳的AIMS传输性能。
提供的年代优越的通过膜修复和颗粒去除能力，持久的未知颗粒污染，即使在大面积。
很多的能力，没有担心
布鲁克的面罩修复fp-III提供生产验证的高速修复，包括:
- 无真空要求
- 没有化学反应
- 无化学残留物
- 没有光束相关的充电效应
- 不需要使用不需要的定位标记进行不断的漂移校正
支持
支持
我们能帮什么忙?
布鲁克与我们的客户合作解决实际应用问题。我们开发下一代技术，帮助客户选择合适的系统和配件。这种伙伴关系通过培训和延长的服务，在工具销售后很长一段时间内继续下去。
我们训练有素的支持工程师，应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级以及应用程序支持和培训最大限度地提高您的生产力。