半导体和纳米技术

先进的内存

先进的内存

从手机到笔记本电脑再到高端服务器，所有设备都有不同种类的内存。这些技术包括DRAM、3D-NAND和更晚的相变存储器(如XPoint)和MRAM。Bruker使用一系列x射线系统和技术来表征薄膜的关键参数:从厚度、成分到形状轮廓。

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先进的内存

膜结晶度

在高级存储器中，金属/氮化物薄膜的晶体性质对器件性能至关重要。

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先进的内存

PC RAM厚度和组成

大多数正在形成的记忆都是复杂的、多元素结构的堆叠。Sirius-RFµXRF可以在线监测计量垫或设备区域的成分。快速收敛束XRR允许厚度测量在1-2秒每个点。

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