膜结晶度

的力量JVX7300LSI系统被广泛用于测量多晶薄膜的结晶度在先进的记忆中,W电影NAND和辩证法等电影栈在DRAM(比如款ZAZ)。

通过监测强度、位置和宽度主要使用高强度光束衍射峰和先进的探测器、结晶度、阶段、纹理和粒度可以保持控制。

通道,通道

小点的测量测试结构的晶片,S通道可以添加,光斑大小50µm x 50µm样本。阶段和定位监测超薄水晶电影启用可选我为平面x射线衍射测量通道。

的D8发现+是力量的旗舰超薄无定形的分析,x射线衍射解决方案多晶和外延电影。
通过应用Coplanar-Diffraction(左)和Non-Coplanar衍射(右),晶格参数和微晶的大小可以确定与无与伦比的精度以及平行于样品表面垂直。
密苏里州5 nm厚的呈现情况下电影,高各向异性在晶格参数和微晶大小观察:垂直微晶大小等于膜厚度,而平面微晶大小超过两倍(11.4海里)。

全新的方法在存储器设计被能量色散x射线能谱法详细研究在TEM。