力量纳米分析提出:

先进的半导体和微电子元素分析使用QUANTAX WDS SEM

点播会话- 65分钟

半导体与Wavelength-dispersive x射线光谱法分析

半导体是必不可少的对于许多高科技工业产品包括日常生活(智能手机、平板电脑、笔记本电脑、汽车…)。分析这些材料和产品的元素成分往往具有雷竞技网页版挑战性由于分辨率,特定需求空间和幽灵似地。这个研讨会将提供信息的优势使用改进的扫描电镜半导体材料的分析和相关的高科技工业产品,如微电子。

现场微量分析利用扫描电子显微镜(SEM)是成立于研发和半导体和微电子的QM。由于它的多功能性,鲁棒性和速度,能量色散x射线光谱(EDS)是一种适合许多应用程序的分析技术。然而,EDS分析确实有局限性,特别是对元素峰重叠,在某些半导体材料是很常见的。雷竞技网页版因此,当高光谱分辨率的限制之外EDS是必需的,wavelength-dispersive x射线光谱法(改进算法)是理想的分析技术获得更详细的了解材料的成分。

在这个网络研讨会中,我们将介绍点分析和元素分布的地图具有挑战性的例子。我们将关注一些半导体明显EDS峰重叠(例如Si-Ta-W, Mo-S和Bi-Pb)提供的优越的光谱分辨率QUANTAX改进算法是惊人的。通过映射和梯度的非均质材料可以可视化和定量分析。它有利于精确和可再生的决心和量化各自元素的物质系统和相关的高科技产品。

谁应该参加

  • 材料科学家
  • 研究人员在半导体
  • 失效分析专家
  • 扫描电镜实验室的科学家和工程师们感兴趣的改进算法
元素分布图的电子芯片
结合改进算法和EDS钨硅化物的光谱

演讲者

马克斯Buegler博士

应用科学家Micro-XRF力量纳米分析

Michael Abratis博士

老应用科学家,力量纳米分析