硬质涂层纳米压痕入门课程

纳米压痕是一种广泛用于测量小尺度机械性能的技术，包括薄膜和涂层。在这里，测量模具涂层的技术从头到尾都是详细的。这些PVD和CVD涂层被作为一个例子，结合在粗糙度、厚度和非凡硬度的要求之间找到平衡。

关于纳米压痕技术应该如何执行，有许多考虑因素，介绍性用户不能立即理解。首先介绍了简单衬底上的硬度和模量的测量方法。然而，测量实际样本很少能达到这个理想。然后通过测量具有有限粗糙度和涂层厚度的样品来引入这种理想的偏差。从本质上讲，这些复杂性是相互冲突的，因为增加测量深度会减轻粗糙度的影响，但会逐渐对涂层和底层加工基材产生混合响应。因此，选择最佳深度对于获得刀具涂层的精确测量是非常重要的。给出了四种不同的市售氮化物涂层的试验结果。