使用微焦点x射线源密封管的概念结合x射线光学衍射实验首次由美国阿恩特(lmb实验室、剑桥)在90年代初。然而,尽管其令人印象深刻的强度,这第一代微焦点发现来源有限接受由于相对稳定性差和短管寿命。
第二代微焦点源,IμS引入的INCOATEC2006年,取代低效的金属光学全反射中使用第一代现代多层光学来源。这种组合最终实现高亮度、稳定、长寿命微焦点来源。因为这些优势微焦点源已成为实验室的标准源结晶学与moe远远超过全球1200 IμS装置。
2015年INCOATEC介绍了IμS 3.0。这源包含第一代微焦点管完全由Incoatec设计和制造。优化的起飞角度和灯丝属性IµS 3.0导致x射线强度的增加超过两倍比传统无损检测微焦点管,使IµS 3.0的第一个源优化微焦点x射线衍射的应用程序。
的IμS钻石,在2019年推出,是高端IµS家族的成员。同时保持的好处IµS 3.0 IµS钻石的独特混合钻石阳极可以显著改进热管理导致通常比传统的微焦点x射线强度高出5倍。