x射线衍射(XRD)

DIFFRAC。LEPTOS

LEPTOS是一个综合软件套件,用于评估x射线反射(XRR)、高分辨率x射线衍射(HRXRD)、掠入射小角度x射线散射(GISAXS)和残余应力(RS)数据。

突出了

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x射线反射率(XRR)提供了垂直样品密度剖面、层厚和界面粗糙度的详细信息。高分辨率x射线衍射(HRXRD)测量样品的晶体结构。掠入射小角散射(GISAXS)用于评价纳米颗粒和孔隙率。残余应力分析研究了大块样品和多晶涂层的应变状态。

与传统的单曲线扫描一样,LEPTOS能够分析高分辨率HRXRD和XRR倒数空间图,GISAXS和XRD²应力帧,HRXRD, XRR和残余应力应用的面积映射。数据是用0-D、1-D还是2-D探测器收集的并不重要。
GUI可以定制,以适应科学研究人员和工业操作人员的需求。

  • XRR, HRXRD, GISAXS和RS多项测量的联合评价
  • 先进的x射线散射理论和数值方法估计,模拟和拟合的数据在直接和倒数空间
  • 通过点、线和二维探测器测量的1维和2维数据集的自然集成处理
  • 通用样品模型编辑器参数化任何类型的薄膜和散装样品
  • 全面和可扩展的材料数据库,涵盖所有230个晶体空间组
  • 区域映射工具,用于显示和评估在大样本区域进行的测量
  • 用于一维和二维数据残余应力分析的先进sin²ψ法,以及用于评估多晶涂层应力梯度的倍数(hkl)法

特性

DIFFRAC。LEPTOSModules

LEPTOS R

使用LEPTOS R,扩散散射杆和摇摆曲线既可以作为单独的曲线拟合,也可以作为横向和纵向扫描的任意组合中的几条曲线的一致集拟合。

LEPTOS R是为分析薄层结构的x射线反射率(XRR)数据和非镜面漫射散射(DS)而设计的。该模块完全集成在LEPTOS套件中,可以同时分析HRXRD、GISAXS和XRR数据。作为LEPTOS套件的一部分,R模块继承了整个包的所有通用功能。

LEPTOS R在多个国际基准中获得了很高的评价,包括VAMAS项目A10。LEPTOS R的结构符合最新制定的国际rfCIF XRR数据格式标准。

LEPTOS H

LEPTOS H包含一个面积映射模块,可以处理在大样品区域内逐点采集的HR-XRD数据,并显示样品参数的映射。

LEPTOS H代表高分辨率x射线衍射和掠入射x射线衍射数据分析。

该模块完全集成在LEPTOS套件中,可以同时分析HRXRD、GISAXS和XRR数据。作为LEPTOS套件的一部分,H模块继承了整个包的所有通用功能。

LEPTOS年代

残余应力梯度可以通过在不同掠入射角度下测量的多个{hkl}来计算。计算时考虑了x射线的吸收和折射,以及涂层厚度。

LEPTOS S是一个创新的,强大的和全面的模块,用于分析0D, 1D或2D探测器测量的残余应力,使用经典的sin2ψ和扩展的XRD2方法。该模块完全集成在LEPTOS套件中,并继承了整个包的所有通用功能。

LEPTOS G

LEPTOS G允许将2D数据集成到合适的1D数据集中,以及在实验室和倒数空间坐标之间转换2D数据。

LEPTOS G对掠入射小角散射数据进行评估,这些数据来自含有嵌入在表面下区域或位于样品表面的纳米颗粒的样品。例如,这些可以是埋藏或表面半导体量子点和岛、多孔材料、浓缩粉末、嵌入聚合物纳米颗粒等。雷竞技网页版模块G的许可证还包括用于x射线反射率的R模块。

规范

DIFFRAC。LEPTOS年代pecifications

版本 当前软件版本为V7.10.12

分析方法

动态帕拉特的形式主义

界面粗糙度模型的多样性

计算x射线散射参数的算子方法

本征波的专利方法(MEW)

快速2x2和精确4x4递归矩阵形式

经典和扩展的sin2ψ,以及XRD2方法

多重{hkl}残余应力的评价

薄多晶涂层中的应力/应变梯度

操作系统

Windows 8、Windows 10(32位或64位)