在某些fe - sem的浸没/UHR模式下实现纳米尺度TKD映射

近年来，纳米技术的大规模应用引发了扫描电子显微镜(SEM)的最高分辨率竞赛。实现终极空间分辨率的一种方法是使用磁浸没透镜。以前，浸入式镜头的使用使得定向映射不可能实现。这是因为透镜产生的磁场干扰了传输菊地模式(TKP)的收集和分析过程。这种干扰有两个主要组成部分:

• 散射电子被限制在扫描电镜光轴周围的狭窄空间内(见下面的TKP“带场”)。
• 菊池图案被磁场扭曲、旋转和移动。

首先，菊池信号被减小到一个从扫描电镜光轴扩展到10mm的区域。这种围绕光轴的电子约束意味着很少有散射电子会达到标准EBSD探测器，通常将其荧光粉屏放置在距离扫描电镜光轴大于15mm的地方。轴上跆拳道启用的技术OPTIMUS 2通过从扫描电镜光轴周围捕获菊池图案解决了这个问题。

其次，磁场在TKPs中产生的严重扭曲，使精确的波段探测变得不可能。为了纠正畸变并补偿tkp中的旋转和移位，我们开发了一种新的软件功能(正在申请专利)，称为ESPRIT FIL TKD(全浸入式镜头TKD)。该功能易于校准，并已完全集成在自动地图采集过程中精灵2软件

FIL TKD功能与轴上TKD功能的结合使得高端fe - sem在超高分辨率模式下(即浸没镜头激活时)进行精确的方向映射成为可能。

在图2(*)所示的TKD结果中可以清楚地看到这种独特的HW和SW组合的最终结果或益处。模式质量图(左)定性地证明，当激活浸入式镜头(更清晰的特征)时，物理空间分辨率要高得多。在浸没透镜激活时获得的取向图中可以清楚地看到小于10 nm的颗粒/特征。