内置ARGUS成像系统的SEM能力

全视神话巨人阿古斯回来了

和它的前身一样,OPTIMUS 2探测器头部已设计内置百眼巨人TM系统提供STEM的扫描电镜成像能力。在其前端边缘有三个硅二极管,屏幕中央有一个硅二极管,OPTIMUS 2提供:

  • 暗场(DF)样成像
  • 在TKD成像位置时的亮场(BF)样成像
  • 成像速度高达125,000像素/秒
  • 全自动信号优化,以创建图像无与伦比的质量和细节

这种新的类似bf的成像能力对于测绘过程中的漂移校正以及动态实验(如原位拉伸测试、加热和电子透明样品的电偏置)过程中样品的近实时可视化特别有用。

280万像素的类似df的图像(左)和在非晶Si₃N₄膜上沉积的20 nm金膜的高亮区域的放大视图,显示了低于10 nm的退火孪晶。成像时间为66秒,探头电流为800 pA,加速电压为30 kV。主图像和放大视图中的比例尺分别代表400 nm和50 nm。