粗糙形貌材料的能谱定量研究雷竞技网页版

对于可靠的EDS定量，样品和检测器几何的准确知识是必不可少的。然而，对于地形粗糙的材料，雷竞技网页版很难知道获得光谱点的局部样品几何形状。提高定量的一种方法是通过样品旋转获得多个光谱。这将模糊样品形貌对定量的影响，使结果更接近化学计量浓度。

图1给出了三元合金的SE图像，该图像具有粗略的样品形貌和认证的浓度值(元素a = 33.4%， B = 41.3%， C = 25.3%，质量百分比)。为了评估材料组成，我们在样品表面获得了5个点光谱(图1a)。将样品旋转180˚，又获得了5个点光谱，几乎在相同的位置(图1b)。平均光谱给出了材料的组成:元素A = 33.5%，元素B = 40.8%，元素C = 25.7%，与认证浓度非常接近。一种方便的粗糙表面测量方法是使用布鲁克独特的EDSXFlash^®FlatQUAD探测器。