包覆锂离子电池阴极粒子的能谱分析

镍钴锰(NCM)颗粒被用作锂离子电池的正极材料。雷竞技网页版在这个应用示例中，我们使用原子层沉积(ALD)涂覆钛(Ti)的NCM颗粒。涂层的均匀性在研究容量保持时是很重要的。虽然用SEM或TEM成像很难将钛层与基材区分开来，但通过EDS元素分析可以确定涂层的分布。

为了接近微米大小的单个颗粒的表面，通过FIB-SEM在横截面上制备了样品。我们提出了在透射电子显微镜中用STEM EDS和在扫描电子显微镜中用T-SEM EDS分析相同样品区域的比较研究。测量使用XFlash进行^®760传统的x射线EDS探测器，在SEM的情况下，另外，一个环形探测几何的x射线EDS探测器，所谓的XFlash^®FlatQUAD。

可以识别20-30纳米厚的钛涂层，其均匀性不仅可以用透射电镜检查，还可以使用传统的XFlash设置^®760探测器在扫描电镜。在相同的测量时间内，元素映射与环形XFlash^®与传统的SEM EDS相比，FlatQUAD探测器实现了更高的数据质量，由于环形几何中更高的x射线收集立体角，可以以15倍的速度产生相同的数据质量。