以LaB6为例的定量分析

六硼化镧₆)为S/TEM中的EDS定量分析提供了一个非常具有说明性的例子，因为它包含两个极端，一个非常轻的元素(B)和一个重元素(La)。实验室₆可以用来显示布鲁克的XFlash的性能^®探测器和克里夫-洛里默量化程序。

未知样件的定量检测从元素识别开始。要量化的元素可以通过自动或交互式例程定义。光谱中来自杂散辐射(例如来自样品容器的铜)或污染(例如碳)的元素谱线只能用于反褶积。因此，各自的信号可用于直线反褶积，但不考虑样品中元素浓度的测定。下一步是背景减法。为完美拟合背景，提出了一种特殊的物理轫致辐射模型。第三步是峰值反褶积。几种不同的拟合模型可用于最佳峰分离。最后，使用理论或校准的Cliff-Lorimer (CL)因子完成量化。

一个实验室₆标准(图库中的绿松石光谱)可以用来实验校准克利夫-洛里默因子。

使用理论CL因子的结果已经显示了Bruker Cliff-Lorimer量化的优异性能。它们非常接近14.29的预期构成。%， 85.71 at。%表示La和B，如图片库中的表格所示。此外，使用La K系列代替l系列进行定量的结果表明，QUANTAX系统非常适合于光谱采集，也适用于20 keV至80 keV线能量以外的光谱定量。