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使用大面积映射(超映射)SEM-XRF可在有地形的样品上进行。即只需要极少的样品制备,样品可以直接分析而不需要任何变质。这在土壤分析中尤其相关,其中任何形式的样品制备,如安装和抛光或碳涂层,都可能改变样品。micro-XRF可以直接分析土样,如图1所示。这包括主要元素,也包括可能含有污染物或毒素的微量元素或微量矿物相(见图2)。在本例中,识别出含有Pb和As污染物的颗粒。