元素识别在半导体芯片材料雷竞技网页版

导电陶瓷材料钨硅化物用于微电子芯片等。还可能出现硅化钨作为半导体材料的不应期,如硅晶圆。雷竞技网页版

为了实现高空间分辨率在微观和纳米级质量控制,分析在低电压加速进行,复杂的识别阶段。只有钨M系列能源行严重重叠的衬底硅Kα线生成在低电压加速。

由此产生的EDS山峰的主要元素略有扩大和掩蔽第二阶段的存在。相比之下,W等元素与使用的信心QUANTAX改进算法由于其优越的光谱分辨率。

x光元素分布图Si和W收购SDD的电子芯片
x射线光谱部分钨硅化物能源地区的1.6 - 2.0 keV显示改进算法的高光谱分辨率