SiBrickScan

获取有价值的信息，以检查和优化产品质量

了解硅锭的氧梯度可以得出重要的结论，例如控制和优化硅结晶过程或识别批次的不良原料。因此SBS将有助于节省成本,优化产品质量和减少缺陷的晶圆。对单个铸锭的随机抽样确实大大减少了样品制备的工作量，并更早地提供了相关信息。

最先进的FTIR光谱最高灵敏度

通过FT-IR光谱(ASTM/SEMI 1188)进行间质氧定量是一种众所周知的重要分析方法，但仅限于低毫米范围内的薄硅样品。SiBrickScan (SBS)克服了这一限制，是第一个商业上可用的完全专用的系统，可以确定完整铸锭沿其主轴的氧梯度，而不需要耗时和破坏性的薄样品制备。SBS巧妙地利用了相关的红外泛音吸收波段，并结合了可靠和最先进的布鲁克FT-IR技术。

要发送SBS在线查询，请点击这里。

不需制备薄样品的间质氧定量

SiBrickScan允许分析间隙氧在硅锭长达500毫米的长度。这些有价值的信息可以优化结晶过程，以及在锯切前对单个锭进行鉴定。

直接与ASTM/SEMI 1188挂钩的高质量校准

SBS氧气评估使用直接与ASTM/SEMI 1188相关的校准。由于两种方法的相关性几乎是完美的，间质氧浓度的评估具有最高的准确性。

SBS的最高检测灵敏度

根据样品的形状和性质(例如电阻)，SBS可以达到间质氧检测极限< 2ppma (< 10¹⁷/厘米^3.)．如果您对可行性测试测量感兴趣，请联系您当地的布鲁克代表。

不同钢锭类型的专用SBS版本

SBS可用于多晶或单晶标准方形PV锭(截面~156 x 156 mm)²)以及圆柱形硅锭，例如直径~150毫米(6”)或~200毫米(8”)。可根据要求提供其他直径和形状的系统。

行业兼容和健壮的设计

一个坚固而精确的线性驱动器自动控制铸锭测量位置:根据配置和铸锭类型，沿铸锭轴可实现~12毫米的空间氧分辨率。可靠和安全的联锁机构排除了操作人员接触运动部件的风险。

直观和易于使用的软件界面

SiBrickScan (SBS)包括一个专为工业环境优化的直观图形用户界面。普通生产工人也可以在几分钟内学会标准操作程序:简单地装入钢锭，选择所需的分析配方并开始测量。测量本身将自动进行，包括数据评估。

创新的高灵敏度光束路径，包括参考样本

独特和创新的红外光束路径确保最高的测量灵敏度。仪器中已经包含了高质量的参考样品，并自动完成参考测量。

检测器可根据客户要求选配

SBS可以与斯特林冷却探测器一起使用，独立于液氮运行。SiBrickScan还可以订购液氮冷却检测器，包括自动补充装置。