尺寸边缘PSS
LED衬底和外延制造商理想的计量和检测系统
突出了
尺寸边缘PSS
Bruker's Dimension Edge™PSS原子力显微镜配合AutoMET™计量软件是LED衬底和外延制造商理想的纳米计量和纳米检测系统。作为Dimension Edge AFM平台的扩展，Edge PSS结合了Dimension AFM系统所享有的令人难以置信的价值和分辨率，同时还为基材测量提供了基于生产的解决方案。
纳米
决议
分析PSS衬底的每个关键参数。
< 0.2海里
噪声地板
提供裸基材和外延粗糙度测量。
生产级
易用性
在超值定价的工业AFM中提供最佳的用户体验。
特性
PSS分析的最高分辨率
当花纹蓝宝石衬底(PSS)的间距低于2微米时，传统的共聚焦技术失去了提供有价值的工艺计量所需的分辨率。Dimension Edge PSS原子力显微镜(AFM)以亚纳米分辨率解决了这一需求，并能够一次测量多达9个2英寸晶圆(或单个4或6英寸晶圆)，提供了控制PSS制造过程所需的所有数据。
除了特定的PSS测量功能内置到Dimension Edge PSS，该系统还集成了所有世界领先的Bruker AFM技术，Dimension显微镜已经闻名于世，包括高分辨率和低噪声的外延粗糙度测量，以及标准和专有的AFM模式，如TappingMode，接触模式，相位成像™和LiftMode™。
三维AFM图像的平顶图案蓝宝石衬底。
先进的PSS计量能力
Dimension Edge PSS系统可以增强PSS结构的分析。
Dimension Edge PSS AFM为PSS衬底的每个关键参数的分析提供纳米分辨率，同时自动收集整个晶圆和晶圆之间的信息。布鲁克的专用PSS分析包可以同时提供以下数据:
- 高度，宽度和间距
- 侧壁角度和特征轮廓
- 不对称识别与测量
- 污染识别
- 转弯识别和转弯角度
- 平顶识别
行业领先的AutoMET软件
Edge PSS集成了专为满足LED制造要求而设计的AutoMET软件。该软件具有两种不同的操作模式:
- 操作级别-一个简单的用户界面，带有按钮，引导用户完成尖端变化，对齐，调整和合格的步骤。单键操作可自动运行9片晶圆，简单的PASS/FAIL输出。
- 工程师级别-密码保护的用户界面允许工程师访问所有关键AFM参数。在此模式下，流程工程师还可以轻松设置所有必要的通过/失败标准。
Dimension Edge PSS通过简单的激光对准以及自动生成报告提高了操作员的可用性，提供了在超值AFM中发布的最佳用户体验。
