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扫描隧道显微镜(STM)的发展在IBM在1980年代获得Gerd Binnig Heinrich Rohrer 1986年诺贝尔物理学奖。这种技术作为为原子力显微镜(AFM)的后续发展。STM测量地形的表面电子态使用隧道电流依赖于探针针尖和样品表面之间的分离。
STM通常导电和半导体表面上执行。常见的应用程序由原子分辨率成像,扫描电化学势显微镜(SECPM)和低目前不导电样品的成像。