AutoMET软件

布鲁克的AutoMET™软件为苛刻的生产环境带来了大批量、精确的AFM测量。可用于维FastScan和维图标系统，AutoMET独特地将高分辨率AFM成像与快速自动化计量相结合。它为生产、QA/QC或其他大批量测量应用中的关键质量测量提供了卓越的易用性和适应性。

AutoMET使:

• 用户定义的自动纳米级测量在用户定义的位置上的数据存储滑块样品和裸和图案晶圆高达300毫米
• 光学和AFM图像模式识别，尖端定心，全晶圆或网格映射支持，和图像放置精度在几十纳米
• 全面而简单的配方编写为高级用户
• 易于设置对准样品探针和执行校准校正
• 运行Recipe模式可以使用预定义的Recipe轻松地对数千个样品执行复杂的测量

AutoMET包括一个直观和简单的食谱编写环境，使得它非常容易减少复杂的测量例程到简单的按钮操作。所有经验水平的操作员都可以通过运行预先定义的配方来获得数千个样品的详细，准确的测量结果。