ContourGT-X
用于研发和生产的自动化计量仪表
突出了
ContourGT-X
ContourGT-X 3D光学轮廓仪为实验室研究和生产过程控制提供最高性能的非接触式表面测量。该测量系统融合了十代白光干涉测量技术(WLI)的创新和设计，在业界最大的视场上提供了最高的垂直分辨率。主要功能包括全自动和生产接口，大型电动XYZ工作台，头部倾斜/倾斜，以及整体空气隔离工作台。ContourGT-X从头开始设计，以满足最苛刻的研发，质量保证和过程质量控制需求，提供了最终的测量功能的3D光学精度和鲁棒性。
完整的
自动化
提供最快、最简单的纳米级测量。
可定制的
生产接口
提供简化的流程工作流、自动映射和负载测量方法。
Self-calibrating
激光参考
确保最佳的生产计量，重复性和稳健性。
特性
可生产的设计和可靠性
ContourGT-X结合了Bruker的尖端/倾斜头专利，专利自校准激光参考，集成模式识别，以及许多其他专利干涉测量创新，以提供非常精确的高通量表面测量。该系统的自动化配置几乎可以在任何生产环境中进行快速优化，其功能包括空气表稳定组件，用于增强X, Y, Z晶片放置精度和PDU, EMO和真空系统的集成，以及用于自动装填机末端执行器兼容性的改进真空卡盘。
用于最高分辨率成像的高精度舞台
ContourGT-X电动XY工作台可在X和Y方向上进行12英寸的编码移动。该平台支持自动化例程，例如多点数据收集，以及用于大面积分析的拼接能力。0.5微米编码器提供可靠，可重复的自动化和样品定位。通过直观的操纵杆和软件界面控制，样品定位对操作员来说很容易。
直观的表面测量和分析软件
Bruker的Vision64®操作和分析软件提供了业界功能最强大、最精简的图形用户界面，将智能架构与直观的可视化工作流和广泛的用户自定义自动化功能相结合，用于快速、全面的数据收集和分析。先进的生产接口允许ContourGT-X适应几乎任何生产环境和自动化流程。该界面提供了定制流程工作流、自动映射和负载测量方法的工具。
