三维光学轮廓仪

contourx - 200

用于表面纹理测量的柔性工作台

突出了

contourx - 200

ContourX-200光学轮廓仪提供了先进的表征,可定制的选项,以及最佳的快速,准确,可重复的非接触式3D表面测量的易用性的完美融合。测量能力强,占地面积小的系统使用更大的FOV 5 MP数码相机和新的电动XY平台,提供不妥协的2D/3D高分辨率测量功能。拥有无与伦比的z轴分辨率和精度,ContourX-200提供了Bruker专有白光干涉测量(WLI)技术的所有行业公认优势,没有传统共聚焦显微镜和竞争对手的标准光学轮廓仪的限制。

自动化
功能
启用例程以实现更快的测量和分析。
机动化的
XY阶段
为定量计量提供低噪声、高速运行。
Vibration-tolerant
紧凑的设计
提供测量稳定性和可测量的重复性。

特性

特性

不妥协,一流的计量

ContourX-200光学轮廓仪建立在超过40年的专有WLI创新之上,具有低噪声,高速,准确和精确的结果,满足了定量计量的要求。通过使用多目标和集成特征识别,可以在各种视场和亚纳米垂直分辨率下跟踪特征,为不同行业的质量控制和过程监控应用提供不受尺度影响的结果。ContourX-200在反射率从0.05%到100%的所有表面情况下都具有鲁棒性。新的硬件功能包括具有更大拼接能力的创新舞台设计和具有1200x1000测量阵列的5MP相机,以实现更低的噪声、更大的视野和更高的横向分辨率。

WLI为所有目标提供恒定和最终的垂直分辨率。

最广泛的应用分析能力

ContourX-200电动舞台。

利用强大的VisionXpress和Vision64用户界面,ContourX-200为实验室和工厂车间的生产力提供数千种定制分析。Bruker的新型通用扫描干涉测量(USI)测量模式提供了全自动、自感知的表面纹理,优化了信号处理,同时提供了最准确、最真实的表面形貌分析计算。系统的新摄像头提供了更大的FOV,新的电动XY工作台提供了灵活性,为广泛的样品和零件提供了更大的灵活性和更高的吞吐量。硬件和软件相结合,提供了顶级光学性能的精简访问,完全超过了可比的计量能力。

应用程序

应用程序

具有特定应用解决方案的表面独立计量

精密工程

保持精密工程零件的表面纹理和几何尺寸在严格的规格限制内。当您监视、跟踪和评估流程并评估GD&T符合性时,我们的测量系统可提供有效的反馈和报告。

MEMS和传感器

执行高通量,高度可重复的蚀刻深度,薄膜厚度,台阶高度和表面粗糙度测量,以及MEMS和光学MEMS的高级临界尺寸测量。从晶圆到最终测试,甚至通过透明包装,光学剖析可以在整个制造过程中表征设备。

骨科、眼科

在整个产品生命周期中获得植入材料和组件的精确、可重复测量。雷竞技网页版我们的WLI光学轮廓仪支持研发,QA和QC分析,应用范围从透镜和注塑模具的表面参数表征到表面光洁度验证和医疗设备的磨损。

摩擦学

测量、分析和控制摩擦、磨损、润滑和腐蚀对材料/部件性能和寿命的影响。确定定量磨损参数,并在最宽范围的闪亮、光滑或粗糙表面上执行快速通过/失败检查。

半导体

利用自动化、非接触式晶圆级计量系统,提高前端和后端制造过程的良率并降低成本。进行cmp后模具平整度检查;凹凸高度、共面度、缺陷识别与分析;并测量部件结构的关键尺寸。

光学

更好地了解缺陷的根本原因,并通过精确和可重复的亚纳米粗糙度测量优化抛光和精加工工艺。我们的非接触式计量系统能够满足越来越严格的规格和ISO标准,适用于从小型非球面和自由曲面光学器件到具有复杂几何形状的光学元件,再到衍射光栅和微透镜的样品。

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