多角度反射计

我们的多角度反射技术对薄膜折射率的灵敏度远高于标准的光谱椭偏仪或反射仪。将多角度反射仪与光谱椭圆偏振仪相结合，可以快速、同步、自动测量薄膜厚度和光学常数(特别是折射率)，比单独使用任何一种技术都具有更好的性能和更具有挑战性的样品。这对于测量超薄膜、多层薄膜堆和具有非常高折射率分辨率要求的材料非常有用，包括那些用于形成复杂器件结构和集成电路制造的材料。雷竞技网页版

顾名思义，多角度反射测量可以同时从多个角度收集反射数据，以克服单角度反射测量的限制(如噪声、不相干等)。在此过程中，FilmTek多角度反射系统提供了一流的折射率分辨率，达到了可比非接触方法折射率分辨率的100倍和最佳棱镜耦合器接触系统折射率分辨率的10倍。

FilmTek独特和专有的多角度反射/椭圆测量系统提供了最佳的薄膜厚度和指数精度和可重复性，使用户能够推动这两种技术的极限，以解决超薄到厚薄膜的指数和厚度，并明确表征整个多层堆栈。FilmTek系统是许多前沿应用的首选解决方案，包括光电子学、相敏器件和相变材料、特种器件和硅光子学的开发和生产，以及前端硅和服务器制造。雷竞技网页版