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椭圆计和反射计

椭圆测量和反射测量资源库

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特色产品与技术

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多角度反射/椭偏系统

业界领先的测量性能，挑战超薄到薄膜和多层，比其他非接触式方法具有100倍的性能优势
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光谱反射计

快速薄膜厚度和光学常数测量非常适合于现场生产质量评估，特别是在开发和生产环境中的厚膜和半导体晶圆
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光谱椭圆光度法

高度敏感，可重复测量单层薄膜和小型多层结构，能够表征厚度和光学特性，甚至在厚度小于单个原子层的层
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Reflection-Transmission分光光度法

完全集成的系统结合反射，传输，和可选的椭偏和偏振数据测量吸收膜沉积在透明基材
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薄膜厚度和RI半计量

专门用于晶圆和CD测量的薄膜测量系统，旨在满足传统设备无法测量的要求
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