2D电容式传感器

Bruker的二维电容传感器技术可以在单个测试头中实现纳米压痕和纳米划痕的组合测试功能。2D传感器提供了超灵敏的力和位移测量法向和横向，定量纳米尺度的机械和摩擦学表征。在划痕模式下工作，2D传感器能够对单个微结构、界面和超薄膜进行局部摩擦测量。利用二维传感器的倾斜力划痕是量化薄膜/衬底界面粘附特性的常用方法。

布鲁克的2D传感器采用静电力驱动和电容位移传感传感器技术，在正常和横向两个方向，最大的测量灵敏度。由于横向平移不需要有噪声的电动工作台，表面的摩擦学特性可以在纳米到微米的长度尺度上得到可靠的表征。