iTF-Intrinsic薄膜机械属性解析
底部免效果薄膜测量
薄度独立模数特征
iTF是Bruker新分析软件包,为薄膜系统提供最多功能解法从硬向软从2nm到2mm,iTF在分钟内生成精密薄膜模iTF基础由哈佛大学研究组开发并优化用于各种Hysitron纳米机械器自商业化以来,iTF广泛用于微电子工业、汽车工业、航空航天工业和涂层工业。
基底效果免薄膜测量
精确记分子效果
传统纳米缩进分析使用初始卸载段表示纯弹性响应当仪表检测薄膜系统时 弹性响应是素材响应 组成深度远比实际接触使用传统纳米缩进分析将导致偏离薄膜机械响应基底效果难以理解胶片使用纳米缩进的机械特性iTF调用压力分布图层材料结构并计算内含膜模因此,纳米缩进分析中不再产生基值效果,无论深度多深。
iTF软件
简单操作
简单放样, 300mm wifer或3m芯片,执行深度剖分缩进,查询iTF软件,薄膜模程很容易获取iTF软件识别Hysitron纳米缩表文件所有格式并实现多样本分析自动化简单滑动条允许高速或高精度分析
经典联系人模型核心
减弹性模和硬性用纳米缩进深度绘制胶片和基底界面可见图显示为虚点线估计电影模数分析iTF标记隐蔽区(300GPa)。缩放弹性模数近似全系统标记为破线
雷竞技网页版iTF核心是基于分层材料接触解决方案的经典接触机制通过重构压力分布和边界条件,各种缩进性、僵硬性、缩进负载和移位成为每个薄膜系统指纹纳米缩进数据匹配iTF软件薄膜缩进行为大库很容易定位薄膜模程古典接触机制的使用还促成胶片和基底间大规模弹性错配
