nanoECR
原位纳米电接触电阻
导电Nanoindentation
电流与位移曲线和相关电流测量从一个缩进到Si显示电阻率的变化在一个阶段转换。
电接触电阻测量的组合与nanoindentation进化提供了有价值的洞察接触电阻和材料在纳米尺度上变形行为。通过电流通过导电nanoindenter探针,可以确定纳米电特性探测应用探测力和位移的函数到样品表面。除了定量测量电流-电压特性的纳米电接触,可以获得新的见解薄膜断裂、位错成核、变形瞬变、接触电阻、疲劳、二极管行为,隧穿效应,压电响应阶段转换,等等。
一系列的电流电压(电流-电压)获得的曲线在不同加载在一个压痕实验。
现场电气和Nanoindentation测量
力量的nanoECR运用力量的一种新的模式自营静电传感器已被修改提供电子路径从一个样本偏置阶段通过导电硬度计压头探针,使连续测量的电接触条件,应用力和探针位移的函数。操作反馈控制下,nanoECR使恒定电压或电流-电压扫描测量纳米探针接触在高度控制的应用负载或探针位移条件。
