提取薄同时具有常数材料iTF的内在力学性能分析雷竞技网页版

本白皮书的重点是优化和使用力量的iTF软件包内在的提取(衬底独立)力学性能,特别是对薄,性能的材料。雷竞技网页版这些考虑分成两个主要部分:测量过程(第二节)和iTF执行(第三节)。前者轮廓的重要方面获得适当的实验数据,这是后送入iTF软件。应该注意的是,假设读者有一个初步的理解Li-Vlassak nanoindentation解决方案和基本原则。

读者可以获得新的见解

• 的过程获得substrate-independent属性材料材料的性能和操作需要获得最好的结果;雷竞技网页版
• 指南遵循来提示区域功能、硬度计压头几何形状的选择、负载功能,和数据分析;
• 如何优化关键用户输入值iTF配件所需的薄膜;和
• 属的例子使用过程在半导体的研究应用。

_{关键词:力学性能表征;Nanoindentation半导体研究;薄膜计量;准静态压痕}

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