Dektak XTL
Gage-capable QA / QC为最优300毫米性能分析器
突出了
Dektak XTL
的Dektak XTL™针表面光度仪提供样品350 mm x 350 mm, Dektak传奇®大尺寸晶圆和面板制造的可重复性和再现性。的Dektak XTL气动隔振特性和全封闭工作站方便联锁门,使它适合今天的要求生产车间环境。双摄像头架构也推出支持增强的空间意识,和高水平的自动化生产吞吐量最大化。
健壮的
自动化安装和操作
项目基准和无限的测量网站最大化吞吐量和减少错误。
双
相机控制
简化了测量设置和导航的兴趣点得更快。
容易
分析和数据收集
自动分析程序和在复杂样品只报告所需的功能。
特性
行业最好的自动化和分析软件
增强软件功能使Dektak XTL最强大、最容易使用手写笔分析器。测量系统利用Vision64软件,使无限的网站,3 d映射,高度定制的描述与数以百计的内置的分析工具。视觉缩微过程软件也措施形状,如曲率半径。模式识别最小算子误差和提高测量定位精度。一体化软件包结合了数据收集和分析和直观的工作流程。
Vision64生产接口。
无与伦比的笔技术
运营商装载300毫米晶圆片上Dektak XTL。
的Dektak XTL构建在50多年的笔专业知识和生产设施,以满足严格的行业应用定制路线图的今天和明天。300毫米,高精度编码XY分期给制造商一个可靠的工具,以满足严格的gage R&R需求。Dektak双相机控制的高倍率双视图摄像机提供了增强的空间意识。单击定位的实时视频允许运营商快速样品在正确的位置的快速和容易测量和自动化编程设置。系统的大型联锁门提供了安全、方便示例加载/卸载。
其他硬件功能包括:
- 单孔架构和集成为行业领先的隔振性能
- 容易改变主意的球面手写笔
- 高精度编码XY更快的自动化数据收集阶段
- N-Lite低力软触摸技术和1毫米测量范围可以同时用于测量精致和直范围样本