半导体和纳米技术

光电子的领导

力量的计量解决方案提供准确和可重复的测量生产监测和产量提高。

领导Epi层监控

HRXRD epi-layers测量的建立。的力量QCVelox-E是艺术领袖在领导的状态监控和整个行业被广泛使用。

QCVelox-E使全自动、高吞吐量HRXRD测量,以及自动拉德分析和报告的结果使客户监控过程无需x射线专家来分析数据。可选SECS-GEM工厂主机软件和机器人装载可用来完成系统的自动化。

常规分析半导体基板

改善的蓝宝石衬底性能和产量

理解纳米尺寸的蓝宝石基板(PSS)是新一代的关键材料开发和维持生产质量。雷竞技网页版力量的三维光学分析器提供快速、准确的测量高度、间距和直径PSS的功能。

广泛的自动化特性使operator-independent计量众多网站,这样过程变化在晶片可以很好理解和控制。

此外,光学分析器笔分析器用于描述粗糙度、厚度和形状的磷光层用于创建从一个潜在的蓝色LED白光。这些属性在光转换效率有很大的影响,也会影响颜色和照明的均匀性。

事实上PSS结构的计量

如下的蓝宝石衬底的球场2微米,在光学技术不能达到所需的分辨率提供有价值的计量过程,原子力显微镜(AFM)提供一个精确的解决方案。他们提供事实上的分辨率和测量所需要的所有数据控制PSS的制造过程。

谷物纹理和元素分析的光电设备

理解功能纳米微米尺度在元素组成和晶体性质要求理解现代光电设备的性能和行为。力量提供了各种电子显微镜分析调查这些属性在SEM和TEM系统。力量的电子显微镜分析,等EDS对扫描电镜TEM,EBSD,改进算法Micro-XRF,允许结构的分析(EBSD)和元素分布与高空间分辨率和ppm分层材料(Micro-XRF)。雷竞技网页版特别是快速分析,如需要在质量控制或大样本地区,使用高收集角设备是可能的,比如力量XFlash®FlatQUAD探测器。

激光和发射,电致发光”

傅立叶变换红外发射光谱是理想的工具来分析小说红外源、激光、发光二极管或致发光。研究系列傅立叶变换红外光谱仪的光谱分辨率最高允许完全解决激光模式。时间分辨测量与低时间分辨率下ns范围允许单个激光脉冲的收购。调幅步骤扫描锁定技术的利用提供了一种可能性来记录非常弱的发射信号。对于小型发射器在毫米或µm范围研究光谱仪红外显微镜适应提供了优秀的横向分辨率和灵敏度最大发射显微镜在同一时间。

探测器测试和红外光谱表征

自主研发的红外探测器可以检测和具有力量傅立叶变换红外光谱仪的研究。单元素探测器可能直接适应外部光学研究的系列光谱仪。表征的焦平面阵列(FPA)探测器专用外部测量模块是可用的。