使用微聚焦x射线密封管源与x射线光学相结合进行衍射实验的概念最初是由U. Arndt (MRC-LMB,剑桥)在90年代早期率先提出的。然而,尽管其令人印象深刻的强度,这第一代微聚焦源发现有限的接受由于相对较差的稳定性和短管寿命。
第二代微聚焦源,由IμS引入INCOATEC2006年,将第一代光源中使用的低效金属全反射光学器件替换为现代多层光学器件。这种组合最终实现了高亮度、稳定、长寿命的微聚焦源。由于这些优点,微聚焦源已经成为实验室晶体学的标准源,在世界范围内安装了超过1200个IμS。
2015年INCOATEC推出我μS 3.0。该产品采用了由Incoatec公司完全设计和制造的第一代微聚焦管。与传统的NDT微聚焦管相比,IµS 3.0的提取角度和灯丝特性的优化导致x射线强度增加了两倍以上,并使IµS 3.0成为首个针对x射线衍射应用优化的微聚焦源。
的我μS钻石,于2019年推出,是IµS家族的高端成员。在保持IµS 3.0优势的同时,IµS DIAMOND独特的混合金刚石阳极能够显著改善热管理,与传统的微聚焦管相比,x射线强度通常高出5倍。