定量分析使用体制作为一个例子

镧hexaboride(实验室₆)提供了一个说明性的例子在S / TEM定量EDS分析,因为它包含了两个极端,一个很轻的元素(B)和一个沉重的元素(La)。实验室₆可以用来表示XFlash是力量的表现^®探测器和Cliff-Lorimer量化的例程。

未知样品部分的量化测试始于识别元素。元素被自动量化可以定义或互动的例程。谱线的元素来自杂散辐射从样品持有人(例如铜)或污染(如碳)可以被指定为反褶积。因此相应的信号可以用于反褶积但不考虑样品中元素浓度的测定。下一步是背景减法。一个特殊的物理轫致辐射模型提供了完美的背景。第三步是反褶积达到顶峰。可以使用几个不同的适合模型最优峰值分离。最后,完成量化使用理论或校准Cliff-Lorimer (CL)的因素。

一个实验室₆标准(绿松石光谱图像画廊)可以用来校准Cliff-Lorimer因素实验。

结果使用理论CL因素已经显示力量的性能优良的Cliff-Lorimer量化。他们非常接近14.29的预期构成。%和85.71。洛杉矶和B %,图片库中的表显示。还,结果使用K系列量化而不是l系列显示QUANTAX系统也非常适合光谱采集和量化超出20 keV线80 keV能量。