CryoSAS

CryoSAS组合los espectrómetros FT-IR de alto rendimiento de Bruker con un sistema de enfriamiento criogénico de ciclo cerrado que no requiere helio líquido。CryoSAS组件última generación, pero utilizan tecnologías probadas para log grar un análisis difícil en el exigente entrorno de producción de silicio。CryoSAS se puede operar con un alto nivel de automatización, incluendo informos precisos de los resultados del análisis。

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Sus características más相关度儿子:

阿尔塔sensibilidad:

CryoSAS分析impurezas肤浅(por ejemplo, boro, fósforo等)hasta el nivel de ppta según la norma ASTM/SEMI MF1630。Además, analiza simultáneamente el carbono y el oxígeno hasta el nivel de ppba según la norma ASTM/SEMI MF1391。

Sistema de refrigeración criogénica de ciclo cerrado:没有必要的criogenos líquidos caros

心灵心灵的系统criogénico心灵心灵的系统与心灵心灵的系统cámara心灵心灵。En comparación con un sistema de refrigeración con helio líquido, el sistema de ciclo cerrado puede ahorar hasta 50,000欧元de cost de operación al año。

Diseño de cámara de muestra de acero不可氧化:

Fácil acceso a la muestra

Cámara de muestra de diseño probado con óptica estacionaria y cabezal de muestra automatizado。El gran diámetro interior de la cámara de muestras permite un fácil accesso al portamuestras。

Bomba previa seca y Bomba turbo:
简单的系统功能vacío

Evacuación rápida y可下载través de bomba涡轮增压y bomba en seco previa。

白罗布斯塔precisiónCon motor paso, paso我的记忆中充满了凶险:

La robusta platina móvil interconectada al portamuestras permite realizar múltiples análisis de muestras。机械上的上电机traslación机械上的比例inserción机械上的精确和机械上的精确años。Las muestras son fáciles de insertar y quitar y el portamuestra se fija fácilmente en la cámara de muestras。El diseño cobre OFHC与温度变化相对应的温度均匀。

使用便利:

CryoSAS在工业上对功能进行优化。Todos los dispositivos de vacío y refrigeración están controlados por un PLC。Enfriar e iniciar la medición es tan simple como apretar un botón。通常的事情没有办法解决espectroscopía没有办法解决vacío。

El软件奉献del CryoSAS está diseñado对工业的控制需求的满足。Es fácil de usar y se puede operar a través德拉潘塔拉táctil。简单的例行的挽歌método de análisis deseado，介绍información de las muestras和脉冲星botón de inicio。CryoSAS enfriará automáticamente las muestras, realizará la medición infrarroja, evaluará los resultados y creará un informe del análisis。

Especificaciones

雷戈光谱:1500 - 280厘米^－1Optimizado para la detección de

• impurezas肤浅del grupo III y V en Si单晶硅según ASTM/SEMI MF1630。这就是我的记忆。
  3mm, se pueden alcanzar los siguentes límites de detección:
  - 10 ppta Fósforo
  - Boro 30分
• carbono sustitutivo根据ASTM /半
  MF1391。Este método在参考的过程中，自由的碳和表面的相似事物之间相互促进interés。这是一段不可预知的过程。3毫米，se pueden detectar concentraciones de carbono de hasta 20 ppba。