多角度反射计

我们的多角度反射技术对薄膜折射率的灵敏度远远高于标准的光谱椭偏法或反射法。多角度反射测量与光谱椭偏测量相结合，可以快速，同时，自动测量薄膜厚度和光学常数(特别是折射率)，具有更好的性能和更具挑战性的样品，而不是单独使用任何一种技术。这对于测量超薄薄膜、多层薄膜堆和具有非常高折射率分辨率要求的材料非常有用，包括那些用于形成复杂器件结构和集成电路制造的材料。雷竞技网页版

顾名思义，多角度反射法可以从多个角度同时收集反射数据，克服了单角度反射法的局限性(如噪声、不相干等)。在此过程中，FilmTek多角度反射系统提供了同类最佳的折射率分辨率，实现了100倍的可比非接触式方法的折射率分辨率和10倍的最佳棱镜耦合器接触系统。

FilmTek独特且专有的多角度反射/椭偏系统提供一流的薄膜厚度、折射率精度和可重复性，使用户能够突破这两种技术的极限，解决超薄到厚薄膜的折射率和厚度问题，并明确表征整个多层堆叠。FilmTek系统是许多前沿应用的首选解决方案，包括光电子，相敏器件和相变材料，特种器件和硅光子学的开发和生产，以及前端硅和服务器制造。雷竞技网页版