光谱椭圆光度法

光谱椭圆偏振是一种强大的技术，用于测量具有单个或少量离散层的薄膜和超薄膜(低至<1 Å)。这种技术对薄膜厚度和均匀性非常敏感，几乎可以用于研究任何透明薄膜。它特别适用于超薄膜应用(<100 nm)，可以测量比探测光本身波长更薄的层，直到小于单个原子层，超过了类似的椭圆偏振和基于反射的技术的厚度限制。除了薄膜厚度外，光谱椭偏仪还可高精度、可重复测量样品的介电特性(复折射率和介电函数张量)和光学常数，折射率分辨率可达2 x 10³在一些样品上。

FilmTek光谱椭圆计采用先进的旋转补偿器设计，可提供一流的重复性和相对更好的椭圆测量性能，优于其他设计-即旋转偏振器和分析仪椭圆计。此外，FilmTek光谱椭偏仪(“SE”)产品线从单一技术，预算友好型到先进的多模态系统。多模态工具将光谱椭圆偏振仪与其他薄膜测量方法和专有的FilmTek技术相结合，以满足用户在具有挑战性的材料和测量要求之外的折射率分辨率，层结构和其他光谱椭圆仪的材料/衬底限制的需求。雷竞技网页版

使用FilmTek SE-model仪器收集椭圆测量数据简单，高效，直观。这些系统配备了我们专有的FilmTek软件和优化算法，能够完全自动化，最大限度地减少了操作停机时间和人工测量校准、数据采集和数据分析过程中固有的人为错误，并且与同类椭圆仪不同，不需要手动校准样品。