针表面光度仪

DektakXT

触控笔分析的黄金标准

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DektakXT

DektakXT®触控笔轮廓仪采用革命性的台式设计,可实现无与伦比的4Å重复性和高达40%的扫描速度提高。这一笔分析器性能的重要里程碑是Dektak®50多年创新和行业领导地位的高潮。通过其行业领先的组合,DektakXT提供了最终的性能,易用性和价值,以实现从研发到QC的更好的过程监控。DektakXT的技术突破为微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、医疗和材料科学行业提供了关键的纳米级表面测量。雷竞技网页版

4埃
可重复性
提供业界领先的准确性。
单孔
设计
提供突破性的扫描稳定性。
调心
尖笔
使轻松的小费交换。

Caracteristicas

特性

加速数据收集和分析

利用独特的直接驱动扫描级,DektakXT可将测量扫描时间缩短40%,同时保持行业领先的性能。Vision64,布鲁克的64位并行处理操作和分析软件,可以更快地加载3D文件,更快地应用过滤器和多扫描数据库分析。

DektakXT的64位并行处理Vision54在近一半的时间内完成和处理大型3D数据文件。

提供最可重复的测量

Dektak的一体化触控笔传感器可以同时实现大垂直范围和低力扫描。

采用单拱结构使DektakXT更加坚固,从而最大限度地减少了环境噪音的影响。DektakXT升级后的“智能电子产品”减少了温度变化,并采用了现代处理器,最大限度地减少了误差引起的噪音,使其成为一个更强大的系统,能够测量<10nm步进高度。

完善操作与分析

布鲁克的Vision64软件通过提供最直观和精简的视觉用户界面来补充DektakXT的创新设计。智能架构和可定制的自动化功能的组合允许快速和全面的数据收集和分析。无论您是使用配方对单个扫描执行常规分析,还是应用自定义过滤器设置和计算,DektakXT的数据分析器都可以显示当前数据,同时还可以显示其他可能的分析。

DektakXT的Vision64显着简化和加速了操作和数据分析。

让事情变得简单

DektakXT具有最快和最简单的提示交换,使各种提示能够解决最广泛的应用。

DektakXT的自对准触控笔组件允许用户快速轻松地更改触控笔尺寸,同时消除过程中任何潜在的事故。布鲁克提供最广泛的手写笔尺寸,以适应几乎任何应用需要。

确保高产

DektakXT提供了快速,轻松地设置和运行自动化多站点测量程序的能力,以验证晶圆表面薄膜的精确厚度,具有无与伦比的重复性。这种有效的监测可以通过提高产量来节省宝贵的时间和金钱。

DektakXT三维混合电路图。

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Testimonios

奖状

听听我们的客户怎么说

我是布鲁克侧写的老老板。我的第一个是大约20年前的Dektak 6触控轮廓仪,然后是Dektak 150,接着是ContourGT光学轮廓仪,最近是Dektak XT。更重要的是,所有这些机器还在工作!它们只是“工作马”,日复一日地提供精细而准确的测量,停机时间最少。作为一个多用户设施的经理,我很高兴这些年来与布鲁克的良好合作关系。数百名学生已经使用过这些机器数千次。这充分证明了这些分析器是一个健壮、可靠、友好的平台。

Shimon Eliav博士,耶路撒冷希伯来大学纳米制造部门负责人

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