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外延薄膜是一种薄涂层,通常纳米厚度,这通常是应用肾上腺白质退化症患者(原子层沉积),使用一个单一的晶体结构与衬底。
现代半导体外延薄膜的基础技术与小细节处理导致设备性能的巨大变化。能够精确测量细微薄膜性能是至关重要的。倒易空间映射(RSM)和x射线衍射的首选技术描述结构性能的薄膜由于其测量垂直和横向应变的能力,作文,域的影响。
