SiC Defectivity

x射线衍射成像(XRDI,也被称为x射线地形)用于图像完美晶体缺陷否则基质(或接近完美)。在SiC监测检测晶体缺陷通过晶圆的身体。Sensus-CS已经开发了能够测量碳化硅基板在~ 5µm分辨率生产兼容的吞吐量,并提供自动化缺陷地图常见缺陷类型,包括螺纹螺旋位错(TSD),线程刃型位错(TED),底面错位(桶)和micro-pipes (MP)。分析了甚至重叠情况下缺陷的晶圆缺陷密度相对较高。

的完全自动化特性Sensus-CS工具允许每个缺陷的密度类型可以自动提取并报道通过秒/宝石瞬时反馈到生产系统。

对于大型谷物和单晶,micro-XRF技术允许快速映射crystalites ile布拉格峰的出现和消失的光谱范围。劳厄图揭示了不同的微晶域。在足够大的单晶,某些类型的缺陷可以可视化和方向变化。