纳诺表开发
纳诺表开发
未来节点将应用纳米表技术在这一技术中,测量和控制多层上层个体厚度和组成是一项挑战
JVX7300LSI系统测序
栈由多Si和SiGe层组成现有的HVM计量学无法轻易辨别单个层,但报告平均值
跨层堆栈的深度和组成由 XRR和HRXRD直截了当
- 宽度使用X射线反射度测量
- 向高分辨率偏差建模输入这些结果以获取最优结果
测量程序全自动化VX7300LSI系统.
结构多发器分析
X射线反射法和X射线反射法强法多层样本结构非损分析并提供关于绝对层厚度、密度和组成高度精确信息
随身带8分解家庭并D8升级加法Bruker提供广泛的XRD解决方案解决半导体市场研发需求
FFRAC.LEPTOSBruker强薄膜分析套件允许同时改进XRR和HRXRD数据,以最大限度地生成信息
微xRF
功能层变薄使得有效测量涂层厚度是一项极具挑战性的任务微xRF可测量厚度从位数nm到数十mm不等,视当前元素而定雷竞技网页版敏感度高的材料连子原子都可分析,通常测量每个区域沉积质量而不是厚度
