结合micro-XRF与SEM能够在一个单独的系统内分析多个尺度的样品,从厘米(cm)到毫米(mm)到微米(µm)及以下。因此,通过将micro-XRF添加到SEM转换为双源系统,这意味着有两个激励源,电子束和光子束。任何一种光源都可以单独使用,也可以同时使用,以生成x射线样本,并使用相同的EDS探测器进行测量。此外,可以利用每种分析技术的优点:(i) XRF源具有非常低的背景,这意味着可以观察到低至10ppm的元素浓度(取决于元素和基质),以及更大的信息深度,这意味着有可能看到样品表面下的结构或元素。例如,即使在非常低的浓度下,也可以检测到表面以下的夹杂物;(ii)电子束可以聚焦到极小的区域,并产生极高分辨率的信息。
这样的组合现在可以在单个系统中创建新的工作流。例如,使用微x射线荧光光谱可以快速扫描大型岩石样品,在这种情况下,来自Karangahake低温热液矿床的含金spimen。这使得识别感兴趣的区域,包括含金晶粒(图1和图2)。随后,可以使用电子束以更高的分辨率分析这些“感兴趣的区域”(图3)。因此,这种双束系统可以同时识别大尺度(cm到mm)的相关信息,从而能够有效和准确地执行详细的小尺度(mm到µm)。