映射层厚度的变化
在玻璃衬底的示例中,两个电极,电解是光诱导的测试装置。它由一枚双金属单层沿着表面浓度梯度。玻璃基板由磁控溅射镀膜的双重Cu-Al-target。
作为x射线可以通过问题,光谱仪一般允许层厚度的确定。使用micro-XRF层分析(厚度和组成)与空间分辨率呈现可行的千分尺规模。层分析是基于原子强烈基本参数的量化和提高可以使用标准样品。因此“共同”层系统,如ENEPIG涂料、ZnNi涂料、或焊料层,标准是现成的可以测量与精度高而且小说层系统在研发环境中可以进行测试。
整个样地5 x²5厘米的映射空间分辨率的50µm 50毫秒每像素测量时间。的元素分布层元素铝和铜清楚地显示了浓度梯度。
铜的地图数据是量化:艾尔厚度在Si 5 x5像素装箱(250年收益率µm分辨率层厚度分析)。没有参考样品样本系统这样的小说。与量化是根据基本参数和结果匹配与制造商的期望。