CryoSAS

Le CryoSAS关联un spectromètre IRTF性能intégré et un ensemble de refroidissement in circuit fermé sans apport d'hélium liquide。Le CryoSAS intègre des composants à la pointe de la technical quin de faire de analysis de silicon dans un紧迫环境。Le CryoSAS est opérationnel dans une自动化élevé en inclant la production de rapports précis sur les résultats de chaque分析。

联系邮箱équipe commerale pour en apprendre plus sur le CryoSAS!

Fonctionnalites:

格兰德sensibilité:

Le CryoSAS分析les impuretés supericielles(例如:孔，磷等)jusqu'au niveau du PPTA, en conformité avec la norme ASTM/SEMI MF1630。

En complément, il分析le carbone et l'oxygène jusqu'au niveau du PPBA, En conformité avec la norme ASTM/SEMI MF1391。

Système de réfrigération循环fermé:液体再循环nécessaire

Système très可拆卸在电路中fermé pour refroidir le détecteur et l'échantillon。联系方式à un système de réfrigération à l'hélium液体，现场处置fermé permet d'économiser，按方案opérationnel, 5万欧元票面价加付。

échantillon en inox:

Un accès facile pour les échantillons

La concept de La chambre à échantillon est approuvée avec son optique fixre et La tête d'échantillonnage automatisée。Le diamètre intérieur重要de la chambre échantillon permet d'accéder facilement au plateau porte-échantillon。

庞培primaire sèche et庞培turbo:
功能在线真空烹调简单等

Évacuation rapide et fiable grâce à la pompe turbo et à la pompe primaire sèche。

表motorisée pas à pas de haute précision et un porte échantillon de neuf职位:

赛特表motorisée健壮的interfacée avec le porte-échantillon permet d’analyser plusieurs échantillons。Le moteur à couple élevé et de translation robuste offre un positionnement précis des échantillons pour un function fiable sur plusieurs années。Le定位(安装等)des échantillons est simple et Le porte-échantillon se fixe sans effort dans la chambre échantillon。La concept en cuivre OFHC endit d'or du porte-échantillon garantit des températures uniform。

Facilité d’utilisation:

Le CryoSAS est optimisé pour Le function dans un cadre industriel。Tous les distifs真空烹调等réfrigération sont placés sous le contrôle d’un中心监督可编程PLC。Le refroidissement et Le démarrage des measures se font en appuyant tout simplement sur un bouton- pousoir。
L'utilisateur n'a pas besoin d'être un expert en spectroscopie ou en technical du vidide。
Le logiciel dédié du CryoSAS est conçu pour respecter toutes les demandes du contrôle-qualité industriel。
我们使用très facility et fontionne par le biais d'un écran tactile。Il suffit que l'utilisateur choisisse la méthode d'analyse souhaitée puis saisisles information sur l'échantillon pour finalfinalappuyer sur le bouton de démarrage。
Le CryoSAS refroidit automatiquement les échantillons, lance la mesure et évalue les résultats et finfinement crée un rapport d'analyse。

技术特点

Gamme spectrale: 1500 - 280厘米^－1Optimisé pour détecter

• les impuretés groupes III et Vdans un单晶de Si, en conformité avec la normme ASTM/SEMI MF1630。
  

En ce qui concern les échantillons biseautés qui ont une épaisseur d'environ 3 mm, les limites suivantes de détection peuvent être atteintes:
- 10 ppta倒磷酸
- 30分每倒孔

• 碳取代， en conformité avec la norme ASTM/SEMI
  MF1391。

赛特méthode exige un échantillon de référence FZ豁免de carbone don l'épaisseur et les propriétés en surface sont comparables à celles de l'échantillon。
Sur un échantillon biseauté d'une épaisseur d'environ 3mm, il est ainsi可能de détecter des浓度en carbone pouvant descent à 20 ppba。